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SiCO Technology GmbH
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1982년 설립된 SiCo Technology GmbH 사는 Quartz 및 Silicon, Ceramic을 이용한 가공품 생산을 주력으로 하고 있으며,
현재 오스트리아(Bad Bleiberg)공장에서 반도체 및 특수 분야의 제품생산에 주력하고 있습니다.

제품명 설명
Silicon Injector 실리콘의 특성중 순도 등급은 Quartz보다 4등급 높으며 탄화 규소보다 7등급 높습니다.
알카리 및 중금속 오염 물질은 low ppb 범위로 판명됩니다. 실리콘의 사용온도는 1350 °C이며 장시간 또는 고온사용에도 구멍이
생기거나 변형되지 않습니다. 열팽창 특성 또한 웨이퍼와 동일합니다. 반도체산업에서 사용되어지는 다른 재료들과 비교했을 때,
공정 시 실리콘은 가장 높은 순도를 보장합니다. 그러므로 반도체 공정에서 실리콘은 적합한 재료입니다.
실리콘은 표면이 매끄럽습니다.
특별한 표면 청소 및 품질 최종 컨트롤은 반도체 공정 중 파티클 발생을 방지합니다.
Silicon Injector는 동일 형질 접합과 강도 향상이 특징이 있습니다.
Silicon Boat 실리콘의 특성중 순도 등급은 Quartz보다 4등급 높으며 탄화 규소보다 7등급 높습니다.
알카리 및 중금속 오염 물질은 low ppb 범위로 판명됩니다. 실리콘의 사용온도는 1350 °C이며 장시간 또는 고온사용에도
구멍이 생기거나 변형되지 않습니다. 열팽창 특성 또한 웨이퍼와 동일합니다.
반도체산업에서 사용되어지는 다른 재료들과 비교했을 때, 공정 시 실리콘은 가장 높은 순도를 보장합니다.
그러므로 반도체 공정에서 실리콘은 적합한 재료입니다. 실리콘은 표면이 매끄럽습니다.
특별한 표면 청소 및 품질 최종 컨트롤은 반도체 공정 중 파티클 발생을 방지합니다.
Silicon Boat는 낮은 Particle 생성수와 높은 증착막 두께, Throughput 증가, 재료의 높은 순도를 보장하는 특징이 있습니다.
EPI Quartz Parts Fused silica와 quartz는 광학 및 반도체산업에서 널리 사용되는 부품을 제조하는 데 사용됩니다.
일반적으로 fused silica와 fused quartz라는 용어는 명확하게 구별되지 않습니다.
Fused silica는 고순도의 합성 무정형 silicon dioxide입니다.
SiCO의 제품의 경우, 수소-산소 플레임에서 발생되는 SiCL4의 열분해에 의해 생성됩니다.
Fused quartz의 원료는 암석 또는 페크마타이트 quartz로 지구에서 채굴 된 천연결정입니다.
그 다음, 과립결정을 수소-산소 플레임으로 융합시켜 제조하여 특성에 따라 선별되어집니다.

스펙이나 가격 등 기타 자세한 사항은 이메일을 통한 견적 문의 바랍니다

Silicon Injector

Engineered Materials을 활용한 Polyimide Flexible Products
  • Precision All Polyimide Flex Heater
  • E-Chuck, Holder Laminates
  • Flexible Cables
  • Kapton Film
  • Multi-layer
특징
  • 폴리이미드 무접착 라미네이트 기술 (ALT)
  • 맞춤형 제작가능, Multi-zone
  • 다양한 금속, 석영 및 세라믹 받침대와 통합 된 매우 얇고 conformal 한 기판 (<0.008 ＂)
  • Single 레이어 및 multi 레이어 설계 선택 가능
  • 넓은 운영 온도 범위 : -269 ° C ~ + 220 ° C (진공에서 300 ° C)
  • 플라즈마 저항 레이어와 같은 추가 보호 레이어를 결합 할 수 있음

Stainless Steel and Glass Heaters

  • Stainless Steel All Polyimide Adhesiveless Laminate
    Technology (ALT) used for replaceable
    and reusable E-Chuck manufacturing.
  • Glass Heaters Very thin substrates (< 0.008") which are integrated
    with various metal, quartz, and ceramic pedestals

    Additional layers of protection like plasma resistance
    layers can be integrated
  • Single or Bi-polar designs Single or Bi-polar designs operates +/- 5kV

Precision All Polyimide Flex Heater, Multi Zone/ Multi Layer Heaters

All Polyimide Adhesive-less Laminate Technology (ALT)
  • 다양한 재질 메탈, 세라믹 등 다양한 재질의
    Pedestal 위에 통합 가능
  • Material Stack Efficient, thinner, and far more durable than any comparable product on the market
    Offer many options for directional heat transfer with integration of thermal choke
적용 분야
  • Etch and deposition
  • Wafer, pedestal heating
  • Chemical delivery
  • Chamber, full assembly heating