BMI는 전 세계의 기술을 선도하기 위한 고객의 필요로 하는 제품을 공급하기 위해Parts
가혹한 환경과 기술적으로 어려운 적용 분야에 적합한 특수 재료를 사용하여 높은 신뢰성을 요구하는 엔지니어링 솔루션을
제공하고 있습니다. 맞춤형 통합 재료 솔루션 개발 및 제조하는 제품의 종류는 아래와 같습니다.
- 세라믹, 폴리머, 필름, 호일, 접착제 혹은 무접착제 본딩을 포함한 특수 목적의 재료
- 열, 전기 진공 및 플라즈마 성능 관리
- 전자 어셈블리를 포함한 Flex 및 Rigid-flex 제조
- 열 관리 어플리케이션을 위한 세라믹 엔지니어링 기술
Fralock Holdings 패밀리
Fralock 은 높은 신뢰성 어플리케이션을 위한 특수 부품 및 서브어셈블리의 엔지니어링 솔루션을 제공합니다.
항공우주 및 국방, 의료, 반도체 장비 등 다양한 시장에서 기술적으로 진보한 OEM 제품을 위한 고성능 솔루션 개발
주요 제품 : Interface Products (Thermal Transfer / Blocker 등), Polyimide Flex Circuits (Polyimide Heater / ESC)
Oasis Materials 는 반도체, 의료, 항공우주 및 국방 시장을 포함한 다양한 어플리케이션에 초점을 맞춘 고도의
엔지니어링 세라믹 기술을 제공. 정밀한 온도 관리 기술분야의 리더로 알려져 있음
주요 제품 : Ceramic Solutions (AlN Heater, Precision Machined Ceramics 등)
Career Technologies USA 은 주로 의료 산업용 Flex / Rigid-Flex 회로와 전자 어셈블리 솔루션의 수직 적층 솔루션을
제공합니다.
Lenthor Engineering 은 Flex Circuit and Rigid-Flex Printed Circuit Boards 분야의 글로벌 리더 기업입니다.
Ceramic Tech, Inc 는 Prefired 가공과 쿼츠 그라인딩이 포함된 세라믹 부품의 제작과 어셈블리 솔루션을 제공합니다.
Mapson Engineering, Inc. 는 주로 항공 우주 및 국방 고객에게 특수 전자 어플리케이션용 고해상도,
대형 정밀 그래픽 솔루션을 제공합니다.
Engineered Ceramic and Other Solutions
Custom-Engineered Heaters
당사는 고객과의 긴밀한 개발과정을 통해 맞춤형 히터를 공급합니다.
반도체 Front-End 의 주요 공정 및 Back-End 의 테스트, 패키지 공정 등 다양한 제조공정에 적합하고 고객의 요구에 맞는 재료를 사용하여 히터를 제작합니다.
- Ceramic Heaters 는 빠른 히팅과 쿨링 디자인을 통해 반도체 생산 효율 극대화를 구현합니다.
- Polyimide Heaters는 다양한 형태 제작의 유연성과 좁은 영역에서의 온도 균일성이 요구되는 공정에 적합한 디자인을 제공합니다.
- Stainless Steel Heaters는 SUS와 Borosilicate Glass 유전막으로 제작되며 고온 구현과 견고한 전기연결이 가능합니다.
| 히터타입 | 온도범위 | 재료 | 구조적 형태 | 전력밀도 | 상대비용 |
|---|---|---|---|---|---|
| Ceramic AlN | Max. 650 °C | AlN, Tungsten | Platen or Tubular |
Small formate 2kW/sq in 300mm 10 - 15kW Pending configuration |
$$$ |
| Flexible Polyimide | -269 °C ~ 220 °C | Bonded Polyimide Layers | Flat, Formed to most surfaces | 40 W/sq in | $ |
| Stainless Steel / Glass | Max. 450°C |
Borosilicate Glass, Stainless Steel |
Platen or Tubular | 40 W/sq in | $$ |
Ceramic AlN Pedestal Heater
W, Tungsen Heating Element
- Oasis 히터는 Aluminum Nitride 세라믹과 내부 Tungsten 저항 열선으로 구성되어 제작
- AlN-W 두가지 재료는 열팽창계수가 일치하여 매우 빠른 가열 가능
- 열전도계수가 유사하여 탁월한 열 균일성과 원활한 온도 전달 가능
- 공정 시간 단축 및 히팅/쿨링 Recipe 개선
| Parameter | AlN | AlN |
|---|---|---|
| 밀도, g/cc | 3.36 | 19.3 |
| 선형 열팽창 계수, CLTE per°C | 4.3x10e-6 | 4.3x10e-6 |
| 열전도율(상온), W/mK | 180 | 170 |
- Aluminum Nitride 세라믹
- 히터 내부 Line/Via 형태의 텅스텐 기반 배선. 예) Internal tungsten RTD
- Fired in one process
- 견고한 구조 : 금속 강화 세라믹
- Multi-Zone 구현 및 맞춤형 Zone별 전원 공급으로 온도 Uniformity 개선
- Up to 380mm diameter
- Pedestal - Stem : Patented Pressure-less Bonding
-
Expanded view of a Rectangular Heater 히팅 & 쿨링 패키지
히팅이나 쿨링중 온도 제어를 위한 쿨링 채널, 히터 트레이스, RTD 적층
Front-End :
- 고온 Showerhead Heaters
- 650°C Pedestal Heater
- Nozzle 이나 Plasma generation 용 실린더 형태의 Heater
- Burn-in 테스팅
- Class 테스팅
- Chip stacking - Thermal Compression Bonding 공정
Stainless Steel and Glass Heaters
- 300 및 400 시리즈 SS 하단에 Borosilicate 유리 유전체 상단 Layer 구성
- 평면 및 tubular 구성
- 견고한 전기 연결
Precision Machined Ceramics
- 공정 키트 : Domes, Shadow rings, Edge rings, Lift Pins, Robot End-effectors
- 가공 스팩 : Up to 36” diameter, 낮은 공차 범위와 표면처리
- In-house capability of Alumina Green manufacturing
-
- CERAMICS
- - Alumina - Aluminum Nitride (AlN) - Boron Nitride (BN) - Zirconia - Silicon Nitride (SiN) - Silicon Carbide (SiC)
- CERAMICS
- - Fused Quartz - Sapphire - Silicon - Borosilicate - Fused Silica - ULE / Zerodure - BK7 (optical glass) - Germanium
-
- Deposition
- - Chamber liner - Gas distribution - Cover ring - Domes
- ETCH
- - Shower heads - Focus Rings - Shield - Nozzles - Domes
- Litho, Metrology
- - Window Mount - Vacuum pedestal
- EPI, RTP
- - Susceptors - Edge ring
- Wafer handling
- - Lift pins - End Effectors
LTCC (Low Temp Co-Fired Ceramic)
- Multiple Substrates & Packages For Custom Applications
- Buried Resistors To +/- 10%
- Buried Passives – Resistors, Capacitors & Inductors
- Ferro, DUPONT 및 Heraeus LTCC systems
- Aluminum Nitride
- 모든 금 및 혼합 재료 시스템
- 빠른 시제품화 & 프로토 타입에서 양산으로의 빠른 전환
- 통합 패키지 어셈블리
- 세라믹 Sawing 및 그린 커팅
- TF Conductor의 무전해 도금
- 레이저 Resistor 트리밍
- 세라믹 레이저 가공
- 세라믹 Lapping 및 폴리싱