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SiCO Technology GmbH
1982년 설립된 SiCo Technology GmbH 사는 Quartz 및 Silicon, Ceramic을 이용한 가공품 생산을 주력으로 하고 있으며,
현재 오스트리아(Bad Bleiberg)공장에서 반도체 및 특수 분야의 제품생산에 주력하고 있습니다.
| 제품명 | 설명 |
|---|---|
| Silicon Injector |
실리콘의 특성중 순도 등급은 Quartz보다 4등급 높으며 탄화 규소보다 7등급 높습니다. 알카리 및 중금속 오염 물질은 low ppb 범위로 판명됩니다. 실리콘의 사용온도는 1350 °C이며 장시간 또는 고온사용에도 구멍이 생기거나 변형되지 않습니다. 열팽창 특성 또한 웨이퍼와 동일합니다. 반도체산업에서 사용되어지는 다른 재료들과 비교했을 때, 공정 시 실리콘은 가장 높은 순도를 보장합니다. 그러므로 반도체 공정에서 실리콘은 적합한 재료입니다. 실리콘은 표면이 매끄럽습니다. 특별한 표면 청소 및 품질 최종 컨트롤은 반도체 공정 중 파티클 발생을 방지합니다. Silicon Injector는 동일 형질 접합과 강도 향상이 특징이 있습니다. |
| Silicon Boat |
실리콘의 특성중 순도 등급은 Quartz보다 4등급 높으며 탄화 규소보다 7등급 높습니다. 알카리 및 중금속 오염 물질은 low ppb 범위로 판명됩니다. 실리콘의 사용온도는 1350 °C이며 장시간 또는 고온사용에도 구멍이 생기거나 변형되지 않습니다. 열팽창 특성 또한 웨이퍼와 동일합니다. 반도체산업에서 사용되어지는 다른 재료들과 비교했을 때, 공정 시 실리콘은 가장 높은 순도를 보장합니다. 그러므로 반도체 공정에서 실리콘은 적합한 재료입니다. 실리콘은 표면이 매끄럽습니다. 특별한 표면 청소 및 품질 최종 컨트롤은 반도체 공정 중 파티클 발생을 방지합니다. Silicon Boat는 낮은 Particle 생성수와 높은 증착막 두께, Throughput 증가, 재료의 높은 순도를 보장하는 특징이 있습니다. |
| EPI Quartz Parts |
Fused silica와 quartz는 광학 및 반도체산업에서 널리 사용되는 부품을 제조하는 데 사용됩니다. 일반적으로 fused silica와 fused quartz라는 용어는 명확하게 구별되지 않습니다. Fused silica는 고순도의 합성 무정형 silicon dioxide입니다. SiCO의 제품의 경우, 수소-산소 플레임에서 발생되는 SiCL4의 열분해에 의해 생성됩니다. Fused quartz의 원료는 암석 또는 페크마타이트 quartz로 지구에서 채굴 된 천연결정입니다. 그 다음, 과립결정을 수소-산소 플레임으로 융합시켜 제조하여 특성에 따라 선별되어집니다. |
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Silicon Injector
동일 형질 접합
- Si 단 결정 접합 제작으로 형질이 동일(열팽찰률 등)하여 Run 가동시 접합부분의 이격 발생이 없음
- Run 가동시 가해지는 힘을 고려한 디자인 설계로 강도를 강화시켰으며, 부분 단일 결정 접합으로, 일체형 Body에 비해 강도 향상
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Silicon Injector