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SiCO Technology GmbH
1982년 설립된 SiCo Technology GmbH 사는 Quartz 및 Silicon, Ceramic을 이용한 가공품 생산을 주력으로 하고 있으며,
현재 오스트리아(Bad Bleiberg)공장에서 반도체 및 특수 분야의 제품생산에 주력하고 있습니다.
| 제품명 | 설명 |
|---|---|
| Silicon Injector |
실리콘의 특성중 순도 등급은 Quartz보다 4등급 높으며 탄화 규소보다 7등급 높습니다. 알카리 및 중금속 오염 물질은 low ppb 범위로 판명됩니다. 실리콘의 사용온도는 1350 °C이며 장시간 또는 고온사용에도 구멍이 생기거나 변형되지 않습니다. 열팽창 특성 또한 웨이퍼와 동일합니다. 반도체산업에서 사용되어지는 다른 재료들과 비교했을 때, 공정 시 실리콘은 가장 높은 순도를 보장합니다. 그러므로 반도체 공정에서 실리콘은 적합한 재료입니다. 실리콘은 표면이 매끄럽습니다. 특별한 표면 청소 및 품질 최종 컨트롤은 반도체 공정 중 파티클 발생을 방지합니다. Silicon Injector는 동일 형질 접합과 강도 향상이 특징이 있습니다. |
| Silicon Boat |
실리콘의 특성중 순도 등급은 Quartz보다 4등급 높으며 탄화 규소보다 7등급 높습니다. 알카리 및 중금속 오염 물질은 low ppb 범위로 판명됩니다. 실리콘의 사용온도는 1350 °C이며 장시간 또는 고온사용에도 구멍이 생기거나 변형되지 않습니다. 열팽창 특성 또한 웨이퍼와 동일합니다. 반도체산업에서 사용되어지는 다른 재료들과 비교했을 때, 공정 시 실리콘은 가장 높은 순도를 보장합니다. 그러므로 반도체 공정에서 실리콘은 적합한 재료입니다. 실리콘은 표면이 매끄럽습니다. 특별한 표면 청소 및 품질 최종 컨트롤은 반도체 공정 중 파티클 발생을 방지합니다. Silicon Boat는 낮은 Particle 생성수와 높은 증착막 두께, Throughput 증가, 재료의 높은 순도를 보장하는 특징이 있습니다. |
| EPI Quartz Parts |
Fused silica와 quartz는 광학 및 반도체산업에서 널리 사용되는 부품을 제조하는 데 사용됩니다. 일반적으로 fused silica와 fused quartz라는 용어는 명확하게 구별되지 않습니다. Fused silica는 고순도의 합성 무정형 silicon dioxide입니다. SiCO의 제품의 경우, 수소-산소 플레임에서 발생되는 SiCL4의 열분해에 의해 생성됩니다. Fused quartz의 원료는 암석 또는 페크마타이트 quartz로 지구에서 채굴 된 천연결정입니다. 그 다음, 과립결정을 수소-산소 플레임으로 융합시켜 제조하여 특성에 따라 선별되어집니다. |
스펙이나 가격 등 기타 자세한 사항은 이메일을 통한 견적 문의 바랍니다
Silicon Boat
낮은 Particle 생성수
- 고객측 측정 Data 확인결과 지속적으로 낮은 Particle 발생량을 보임
- 보다 두꺼운 박막의 증착이 가능하여 Process의 지속성이 뛰어남
- 특허화 된 표면 처리 기술로 증착 필름의 조직 안정화
- Si Boat의 Cleaning 주기가 길어 PM 주기를 증가 시킬 수 있음
- Wafer와 같은 재질이며, 열팽창 계수가 동일하고, 고온에서의 사용이 가능함
- Wafer 크기 : 2“ ~ 12“
- Slot 폭 : 0.3mm ~
- Slot 수 : 1 ~ 400 slots
- Type : horizontal 및 vertical
- 사용용도: Plate, Tube 또는 Profile 캐리어로 사용 가능
- 캐리어는 자동화된 웨이퍼 transport 시스템과 호환됨
- 모든 주요 Furnace 시스템용
- 1350°C 고온 공정에서 사용가능
