bmi co.LTD BMI는 전 세계의 기술을 선도하기 위한 고객의 필요로 하는 제품을 공급하기 위해
전 세계와의 네트워크를 만들어 가는 기업입니다.

Equipment

VEECO
VEECOhome

Veeco의 주요한 사업 중 하나인 Piezocon Sensor 및 Gas Mixing System은 원재료 비용 절감, 공정 반복성 향상,
시스템 가동시간 증가 등 반도체, LED, LCD 제조 업체에 직면한 중요한 문제를 해결하고자 끊임없는 R&D와 제품 서비스로
고객 만족을 최우선으로 추구하고 있습니다.

제품명 설명
Piezocon Sensor Piezocon Sensor는 CVD 및 MOCVD 공정에서 사용되는 Process gas와 Chemical source의 공급량을 조절하여
Process chamber 내 Molecular 양을 일정하게 공급 유지하게 함으로써 향상된 수율을 제공합니다.
Precision Gas Mixing System Mixing gas를 사용자가 원하는 목표 농도로 Mixing 및 Tank에 저장 후 공급하고, Mixing 된 Gas의 농도 재현성을 Cylinder Gas
를 사용하는 것보다 더 향상시킵니다. (저농도 Mixing용) 주요 사용 공정은 EPI 공정이며, Dopant Gas Mixing용으로 사용됩니다.
Apex Gas Mixing System Apex Gas Mixing System을 사용하여 Mixing gas의 농도를 높은 정밀도로 유지 관리하게 하고,
Mixing gas의 대량 생산을 통해 Cylinder gas를 사용할 때 보다 생산 비용 절감 효과가 우수합니다.
주요 사용 공정은 반도체 및 LED 공정의 고농도 혼합가스 Mixing 용으로 사용됩니다.

스펙이나 가격 등 기타 자세한 사항은 이메일을 통한 견적 문의 바랍니다

Apex Gas Mixing System

대용량의 정밀한 Gas Mixing System을 위한 완벽한 솔루션

검증 된 Veeco의 Piezocon Sensor가 탑재된 Apex Gas Mixing System은 사용자가 저렴한 비용의 고농축 가스를 구입 한 다음
사용 현장에서 원하는 저농도 가스로 희석하여 사용할 수 있으므로 혼합가스 구매 비용을 기존 구매 비용의 60%로까지 절감하게 됩니다.

Apex System은 내부에 2개의 Piezocon Sensor을 사용하여 실시간으로 혼합 가스의 농도를 측정하고 정밀하게 제어함으로써 안정적인이고 지속적인 가스 공급으로
보다 높은 공정 설비 가동 시간을 이끌어 낼 수 있으며, Gas Cylinder 교체 후 진행하는 Process qualification을 받을 필요가 없어 비용 절감 효과가 우수합니다.
Apex System의 최대 장점은 Gas Mixer의 실시간 제어, 고정밀도 및 재현성을 구현하여 반도체 제조업체의 품질 및 수율 향상의 효과가 있습니다.

  • 저농도, 고정밀도 및 비용에 민감한 가스 혼합물을 요구하는 어플리케이션에 최적화
  • Gas Cylinder와 비교했을 때 혼합 가스의 반복성이 10배 이상 개선됨
  • 공정 설비의 재인증 및 테스트 시간을 줄임으로써 공정 설비 가동시간을 늘림
  • 즉시 가스 구매비용을 최대 60%까지 절감
  • 반도체, LED 등을 포함한 다양한 응용 분야에 기존 설치 기반과 원활하게 통합 가능
  • ppm 레벨의 제어를 위해 Veeco의 Piezocon Sensor를 사용하는 유일한 가스 혼합 시스템
번호
(No)		 설명 (Description) 사양 (Specification)
1 Inlet Gas #1 10% B2H6, GeH4
2 Inlet Gas #2 H2 5 N
3 Accumulator Tank 100L (50L * 2)
4 Output gas concentration range 1 ~ 5%
5 Output gas concentration repeatability ± 0.1% (absolute range)
6 Output flow rate (average) 0 ~ 8 slpm
7 Output pressure 55~65 psig
8 Input source gas pressure 110 ~ 120psig
9 Inlet to supply pressure drop 40 ~ 50 psig
10 Operation voltage 110~240VAC, 6A, 1Phase
11 PZC sensor 2 sensor installed
12 Fab communications Modbus TCP
  • APEX APEX